在集成電路生產(chǎn)制造階段,質(zhì)量工具是過程質(zhì)量控制非常重要的標(biāo)準工具之一。質(zhì)量工具能夠進一步的保障晶圓的質(zhì)量符合用戶的要求,高標(biāo)準的晶圓制造質(zhì)量,可以讓一些集成電路生產(chǎn)廠家迅速的提升企業(yè)的重要競爭力,因而重視質(zhì)量工具的應(yīng)用在集成電路的生產(chǎn)中是至關(guān)重要的。
在集成電路生產(chǎn)過程中,主要的質(zhì)量控制工具,是一些比較好的質(zhì)量控制方法,比如包括PDCA問題解決法。對生產(chǎn)制造過程中可能存在的安全隱患進行搜集并通過具體的干預(yù)措施,解決相關(guān)的質(zhì)量問題,實現(xiàn)精細化的生產(chǎn),達到精益生產(chǎn)的目的,滿足用戶對集成電路的質(zhì)量要求。
在集成電路生產(chǎn)過程中,質(zhì)量控制的過程主要分為三個步驟:一是先進產(chǎn)品質(zhì)量控制計劃,集成電路的生產(chǎn)廠家必須按照客戶的要求做好物料人機以及生產(chǎn)方法的準備,制定出完善的生產(chǎn)計劃,規(guī)避生產(chǎn)過程中可能存在的風(fēng)險項;二是預(yù)防措施。在生產(chǎn)完成的產(chǎn)品中,需要及時的進行產(chǎn)品的檢驗,對于一些產(chǎn)品的異常項進行質(zhì)量管控;三是異常品處置管控,在集成電路生產(chǎn)過程中,可以結(jié)合統(tǒng)計學(xué)知識設(shè)計出產(chǎn)品質(zhì)量控制區(qū)間,有一部分產(chǎn)品的數(shù)據(jù)在質(zhì)量控制區(qū)間之外,就可能被認為產(chǎn)品質(zhì)量的異常通過。質(zhì)量控制區(qū)間的設(shè)定,能夠從科學(xué)化的角度對產(chǎn)品的質(zhì)量進行管控。